R8000C https://atomstroy-ng.ru/dopoborudovanie
Безмасковая литография SVG Tech Group (Китай) Безмасковая литография Контактная фотолитография Нанесение, проявление и сушка фоторезиста Плазменное травление (RIE, RIE-ICP, DRIE) Плазменное осаждение (PECVD, ICPECVD) Атомно-слоевое осаждение - ALD Плазменная очистка Вакуумное напыление (PVD) Установки LPCVD осаждения графена и CNT Осаждение SprayCVD, MOCVD, LPCVD Быстрые термические процессы - RTP Диффузионные печи Шлифовка, полировка и утонение пластин G&N Планаризация и ХМП Очистка пластин и фотошаблонов (жидкостная обработка и WET processing) Дисковая резка пластин (Dicing SAW) Монтаж на пленку, Ламинаторы пластин, УФ отверждение, Растяжка Системы для автоматической загрузки/выгрузки пластин https://atomstroy-ng.ru/ustanovkadlyazadubleniya
Полный комплекс оборудования и оснастки от ведущих мировых производителей для всех технологических процессов и задач в области микроэлектроники: фотолитография, плазмохимия, термические процессы, микросборка и монтаж, шлифовка и полировка, дисковая резка, аналитическое оборудование https://atomstroy-ng.ru/ustanovkaadonirovanie
18 апреля 2020 https://atomstroy-ng.ru/vannyultrazvukobrabotki
Оборудование для проверки интегральных схем в объеме полупроводника, сформированных на пластине до этапа резки пластины на отдельные кристаллы https://atomstroy-ng.ru/ustanovkanikelirovaniya
Производитель: Fischione Instruments, Inc https://atomstroy-ng.ru/ustanovkadlyazadubleniya
|
78493734